ნახევარგამტარული ფაბრიკაციის დროს, გაზები ყველა საქმეს ასრულებენ და ლაზერები ყურადღებას აქცევენ. მიუხედავად იმისა, რომ ლაზერები ასრულებენ ტრანზისტორის შაბლონებს სილიკონში, ეშჩი, რომელიც პირველ რიგში ანათებს სილიკონს და ანაწილებს ლაზერს, რომ სრულყოფილი სქემები გააკეთოს, არის გაზების სერია. გასაკვირი არ არის, რომ ეს აირები, რომლებიც გამოიყენება მიკროპროცესორების განვითარებისთვის, მრავალსაფეხურიანი პროცესის საშუალებით, მაღალი სიწმინდისაა. ამ შეზღუდვის გარდა, ბევრ მათგანს სხვა შეშფოთება და შეზღუდვები აქვს. ზოგიერთი გაზები კრიოგენულია, ზოგი კი კოროზიული, ზოგი კი ძალიან ტოქსიკურია.
საერთო ჯამში, ეს შეზღუდვები ნახევარგამტარული ინდუსტრიის გაზის განაწილების სისტემების წარმოებას მნიშვნელოვან გამოწვევად აქცევს. მატერიალური სპეციფიკაციები ითხოვს. მატერიალური სპეციფიკაციების გარდა, გაზის განაწილების მასივი არის ურთიერთდაკავშირებული სისტემების რთული ელექტრომექანიკური მასივი. ის გარემო, რომელშიც ისინი იკრიბებიან, რთული და გადახურულია. საბოლოო გაყალბება ხდება ადგილზე, როგორც ინსტალაციის პროცესის ნაწილი. Orbital შედუღება ხელს უწყობს გაზის განაწილების მაღალი მოთხოვნების შესრულებას, ხოლო მჭიდრო და რთულ გარემოში ფაბრიკაციის გაკეთებისას უფრო მართვადი.
როგორ გამოიყენება გაზები ნახევარგამტარული ინდუსტრიაში
გაზის განაწილების სისტემის წარმოების დაგეგმვის მცდელობამდე აუცილებელია ნახევარგამტარული წარმოების მინიმუმ საფუძვლები. მისი ბირთვით, ნახევარგამტარები იყენებენ გაზებს, რომ ზედაპირზე უახლოეს კონტროლირებად სტრიქონები ჰქონდეთ. ეს დეპონირებული მყარი შემდეგ შეცვლილია დამატებითი გაზების, ლაზერების, ქიმიური ეშმაკების და სითბოს დანერგვით. ფართო პროცესის ნაბიჯებია:
დეპონირება: ეს არის საწყისი სილიკონის ძაფის შექმნის პროცესი. სილიკონის წინამორბედის გაზები ვაკუუმის დეპონირების პალატაშია ჩასმული და ქიმიური ან ფიზიკური ურთიერთქმედების საშუალებით ქმნიან თხელი სილიკონის ძაფებს.
ფოტოლიტოგრაფია: ფოტო განყოფილება ეხება ლაზერებს. უფრო მაღალი უკიდურესი ულტრაიისფერი ლითოგრაფიის (EUV) სპექტრში, რომელიც გამოიყენება ყველაზე მაღალი სპეციფიკაციის ჩიპების შესაქმნელად, ნახშირორჟანგის ლაზერი გამოიყენება მიკროპროცესორული სქემის გასაფორმებლად ვაფლში.
Etching: etching პროცესის დროს, ჰალოგენ-ნახშირბადის გაზი ტუმბოა პალატაში, სილიკონის სუბსტრატში შერჩეული მასალების გასააქტიურებლად და დაშლისთვის. ეს პროცესი ეფექტურად ასახავს ლაზერულ დაბეჭდილ სქემას სუბსტრატზე.
დოპინგი: ეს არის დამატებითი ნაბიჯი, რომელიც ცვლის ეკვრის ზედაპირის გამტარობას, რათა დადგინდეს ზუსტი პირობები, რომლის თანახმად, ნახევარგამტარი ატარებს.
Annealing: ამ პროცესში, ვაფლის ფენებს შორის რეაქციები გამოწვეულია მომატებული წნევით და ტემპერატურით. არსებითად, იგი ასრულებს წინა პროცესის შედეგებს და ქმნის საბოლოო პროცესორს ვაფლში.
პალატა და ხაზის გაწმენდა: წინა ნაბიჯებში გამოყენებული გაზები, განსაკუთრებით etching და დოპინგი, ხშირად ძალიან ტოქსიკური და რეაქტიულია. ამრიგად, პროცესის პალატა და გაზის ხაზები, რომლებიც მას იკვებება, უნდა შეავსოთ გაზების განეიტრალებით, რათა შეამცირონ ან აღმოფხვრას მავნე რეაქციები, შემდეგ კი ინერტული გაზებით ივსება, რათა თავიდან აიცილოს გარე გარემოდან ნებისმიერი დამაბინძურებელი გაზების შეჭრა.
ნახევარგამტარული ინდუსტრიის გაზის განაწილების სისტემები ხშირად რთულია მრავალი სხვადასხვა გაზისა და გაზის ნაკადის, ტემპერატურისა და წნევის მჭიდრო კონტროლის გამო, რომელიც დროთა განმავლობაში უნდა შენარჩუნდეს. ეს კიდევ უფრო გართულებულია ულტრა მაღალი სიწმინდით, რომელიც საჭიროა ამ პროცესში თითოეული გაზისთვის. წინა ეტაპზე გამოყენებული აირები უნდა გაირკვეს ხაზებიდან და პალატებიდან, ან სხვაგვარად განეიტრალდეს პროცესის შემდეგი ნაბიჯის დაწყებამდე. ეს ნიშნავს, რომ არსებობს დიდი რაოდენობით სპეციალიზებული ხაზები, ინტერფეისები შედუღებული მილის სისტემებსა და შლანგებს შორის, შლანგებსა და მილებს შორის ინტერფეისები და გაზის რეგულატორებსა და სენსორებს შორის, აგრეთვე ინტერფეისებს შორის ყველა ადრე ნახსენები კომპონენტები და სარქველები და დალუქვის სისტემები, რომლებიც მიზნად ისახავს ბუნებრივი გაზის მომარაგების მილსადენის დაბინძურებას.
გარდა ამისა, სუფთა ოთახის ექსტერიერი და სპეციალობის გაზები აღჭურვილი იქნება ნაყარი გაზის მიწოდების სისტემებით სუფთა ოთახის გარემოში და სპეციალიზირებულ ადგილებში, რათა შეამცირონ რაიმე საფრთხე, შემთხვევითი გაჟონვის შემთხვევაში. ამ გაზის სისტემების შედუღება ასეთ რთულ გარემოში არ არის ადვილი ამოცანა. ამასთან, ყურადღებით, დეტალებზე და სწორი აღჭურვილობით, ამ ამოცანის წარმატებით შესრულება შესაძლებელია.
გაზის განაწილების სისტემების წარმოება ნახევარგამტარული ინდუსტრიაში
ნახევარგამტარული გაზის განაწილების სისტემებში გამოყენებული მასალები ძალიან ცვალებადია. მათ შეუძლიათ შეიცავდეს ისეთი რამ, როგორიცაა PTFE- ის ლითონის მილები და შლანგები, რათა წინააღმდეგობა გაუწიონ უაღრესად კოროზიულ გაზებს. ნახევარგამტარული ინდუსტრიის ზოგადი დანიშნულების მილსადენისთვის ყველაზე გავრცელებული მასალაა 316L უჟანგავი ფოლადი - დაბალი ნახშირბადის უჟანგავი ფოლადის ვარიანტი. როდესაც საქმე ეხება 316L წინააღმდეგ 316, 316L უფრო მდგრადია ინტერგრანულარული კოროზიის მიმართ. ეს მნიშვნელოვანი მოსაზრებაა, როდესაც საქმე აქვს უაღრესად რეაქტიული და პოტენციურად არასტაბილური გაზების მრავალფეროვნებას, რომელსაც შეუძლია ნახშირბადის კოროზირება. შედუღება 316L უჟანგავი ფოლადის გამოცემაზე ნაკლებ ნახშირბადის ნალექებს. იგი ასევე ამცირებს მარცვლეულის საზღვრის ეროზიის პოტენციალს, რამაც შეიძლება გამოიწვიოს შედუღებებში და დაზარალებულ ზონებში კოროზიის კოროზიის გაკეთება.
მილსადენის კოროზიის შესამცირებლად, რაც იწვევს პროდუქტის ხაზის კოროზიას და დაბინძურებას, 316L უჟანგავი ფოლადი, რომელიც შედუღებულია სუფთა არგონის ფარიანი გაზით და ვოლფრამის გაზის ფარიანი შედუღებული რელსები, სტანდარტია ნახევარგამტარული ინდუსტრიაში. შედუღების ერთადერთი პროცესი, რომელიც უზრუნველყოფს კონტროლს, რომელიც საჭიროა მაღალი სიწმინდის გარემოს შესანარჩუნებლად, პროცესის მილსადენში. ავტომატური ორბიტალური შედუღება უზრუნველყოფს მხოლოდ განმეორებითი პროცესის კონტროლს, რომელიც საჭიროა შედუღების დასრულების მიზნით, ნახევარგამტარული გაზის განაწილების სისტემების გაყალბებაში. ის ფაქტი, რომ თანდართული ორბიტალური შედუღების თავებს შეუძლიათ განთავსდეს ხალხმრავალი და რთული სივრცეები პროცესის სფეროებს შორის რთულ კვეთაზე, პროცესის მნიშვნელოვანი უპირატესობაა.
შპს Shenzhen Wofei Technology Co., 10 წელზე მეტი ხნის გამოცდილება სამრეწველო და სპეციალობის გაზების, მასალების, გაზის მიწოდების სისტემებისა და გაზის ინჟინერიის მიწოდებაში ნახევარგამტარული, LED, DRAM და TFT-LCD ბაზრებისთვის, ჩვენ შეგვიძლია მოგაწოდოთ მასალები, რომლებიც აუცილებელია თქვენი პროდუქციის ინდუსტრიის წინა პლანზე. ჩვენ შეგვიძლია არა მხოლოდ ვალაგებისა და ფიტინგების ფართო სპექტრი მოგაწოდოთ ნახევრად გამტარი ელექტრონული სპეციალობის გაზებისთვის, არამედ ჩვენი მომხმარებლისთვის გაზის მილსადენებისა და აღჭურვილობის დამონტაჟება.
პოსტის დრო: ივლისი -31-2023