მაღალი სისუფთავის გაზის მილების ტექნოლოგია წარმოადგენს მაღალი სისუფთავის გაზმომარაგების სისტემის მნიშვნელოვან ნაწილს, რომელიც წარმოადგენს საკვანძო ტექნოლოგიას საჭირო მაღალი სისუფთავის გაზის გამოყენების პუნქტამდე მიტანისა და კვალიფიცირებული ხარისხის შესანარჩუნებლად;მაღალი სისუფთავის გაზის მილების ტექნოლოგია მოიცავს სისტემის სწორ დიზაინს, ფიტინგებისა და აქსესუარების შერჩევას, მშენებლობას და მონტაჟს და ტესტირებას.ბოლო წლებში მზარდმა მკაცრმა მოთხოვნებმა მაღალი სისუფთავის აირების სისუფთავისა და მინარევების შემცველობაზე მიკროელექტრონული პროდუქტების წარმოებაში, რომლებიც წარმოდგენილია ფართომასშტაბიანი ინტეგრირებული სქემებით, გახადა მაღალი სისუფთავის აირების მილების ტექნოლოგია უფრო მეტად შეშფოთებული და ხაზგასმული.ქვემოთ მოცემულია მაღალი სისუფთავის გაზის მილების მოკლე მიმოხილვა მასალის შერჩევითof მშენებლობა, ასევე მიღება და ყოველდღიური მართვა.
საერთო გაზების ტიპები
ელექტრონიკის ინდუსტრიაში გავრცელებული გაზების კლასიფიკაცია:
ჩვეულებრივი აირები(ნაყარი გაზი): წყალბადი (H2)აზოტი (N2), ჟანგბადი (O2), არგონი (A2) და ა.შ.
სპეციალიზებული აირებიარიან SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… და ა.შ.
სპეციალური გაზების ტიპები ზოგადად შეიძლება კლასიფიცირდეს როგორც კოროზიულიგაზი, ტოქსიკურიგაზი, აალებადიგაზი, აალებადიგაზი, ინერტულიგაზიდა ა.შ. საყოველთაოდ გამოყენებული ნახევარგამტარული აირები, როგორც წესი, კლასიფიცირდება შემდეგნაირად.
(i) კოროზიული/ტოქსიკურიგაზი: HCl, BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, კლ2, ძვ.წ3… და ა.შ.
(ii) აალებადიგაზი: ჰ2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, ბ2H6, CH2F2,CH3F, CO… და ა.შ.
(iii) აალებადიგაზი: ო2, კლ2, ნ2O, NF3… და ა.შ.
(iv) ინერტულიგაზი: ნ2, CF4, C2F6, C4F8,სფ6, CO2, ნე, კრ, ის... და ა.შ.
ბევრი ნახევარგამტარული აირი საზიანოა ადამიანის ორგანიზმისთვის.კერძოდ, ამ გაზების ზოგიერთი ნაწილი, როგორიცაა SiH4 სპონტანური წვა, სანამ გაჟონვა მძაფრად რეაგირებს ჰაერში არსებულ ჟანგბადთან და დაიწყებს წვას;და AsH3უაღრესად ტოქსიკური, ნებისმიერმა უმნიშვნელო გაჟონვამ შეიძლება გამოიწვიოს ადამიანის სიცოცხლის რისკი, ეს არის ამ აშკარა საფრთხეების გამო, ამიტომ სისტემის დიზაინის უსაფრთხოების მოთხოვნები განსაკუთრებით მაღალია.
გაზების გამოყენების სფერო
როგორც თანამედროვე ინდუსტრიის მნიშვნელოვანი ძირითადი ნედლეული, გაზის პროდუქტები ფართოდ გამოიყენება და დიდი რაოდენობით ჩვეულებრივი აირები ან სპეციალური აირები გამოიყენება მეტალურგიაში, ფოლადში, ნავთობში, ქიმიურ მრეწველობაში, მანქანებში, ელექტრონიკაში, მინაში, კერამიკაში, სამშენებლო მასალებში, მშენებლობაში. , საკვების გადამამუშავებელი, მედიცინისა და სამედიცინო სექტორები.გაზის გამოყენებას აქვს მნიშვნელოვანი გავლენა, კერძოდ, ამ საბადოების მაღალ ტექნოლოგიაზე და არის მისი შეუცვლელი ნედლეული გაზი ან გადამამუშავებელი აირი.მხოლოდ სხვადასხვა ახალი ინდუსტრიული სექტორების საჭიროებებითა და ხელშეწყობით, თანამედროვე მეცნიერებისა და ტექნოლოგიების გათვალისწინებით, გაზის ინდუსტრიის პროდუქტები შეიძლება განვითარდეს ნახტომებით და საზღვრებით მრავალფეროვნების, ხარისხისა და რაოდენობის თვალსაზრისით.
გაზის გამოყენება მიკროელექტრონიკასა და ნახევარგამტარულ ინდუსტრიაში
გაზის გამოყენება ყოველთვის მნიშვნელოვან როლს ასრულებდა ნახევარგამტარების პროცესში, განსაკუთრებით ნახევარგამტარული პროცესი ფართოდ გამოიყენება სხვადასხვა ინდუსტრიაში, ტრადიციული ULSI, TFT-LCD დაწყებული, მიმდინარე მიკროელექტრომექანიკური (MEMS) ინდუსტრიამდე. რომლებიც პროდუქციის წარმოების პროცესად იყენებენ ე.წ. ნახევარგამტარულ პროცესს.გაზის სისუფთავე გადამწყვეტ გავლენას ახდენს კომპონენტების მუშაობაზე და პროდუქტის მოსავლიანობაზე, ხოლო გაზის მიწოდების უსაფრთხოება დაკავშირებულია პერსონალის ჯანმრთელობასთან და ქარხნის მუშაობის უსაფრთხოებასთან.
მაღალი სისუფთავის მილსადენის მნიშვნელობა მაღალი სისუფთავის გაზის ტრანსპორტირებაში
უჟანგავი ფოლადის დნობისა და მასალის დამზადების პროცესში ტონაზე შეიძლება შეიწოვოს დაახლოებით 200 გრამი გაზი.უჟანგავი ფოლადის დამუშავების შემდეგ, არა მხოლოდ მისი ზედაპირი წებოვანია სხვადასხვა დამაბინძურებლებით, არამედ მის ლითონის გისოსებშიც შეიწოვება გარკვეული რაოდენობის აირი.როდესაც მილსადენში ჰაერი გადის, ლითონი აირის ამ ნაწილს შთანთქავს, კვლავ შემოვა ჰაერის ნაკადში და აბინძურებს სუფთა გაზს.როდესაც მილში ჰაერის ნაკადი წყვეტს ნაკადს, მილი ადსორბირებს გაზს წნევის ქვეშ, ხოლო როდესაც ჰაერის ნაკადი წყვეტს გადინებას, მილის მიერ ადსორბირებული გაზი ქმნის წნევის ვარდნას, რათა გაიხსნას და გაჟღენთილი გაზი ასევე შედის მილში არსებულ სუფთა გაზში. როგორც მინარევები.ამავდროულად, ადსორბცია და რეზოლუცია მეორდება, ისე, რომ მილის შიდა ზედაპირზე ლითონი ასევე წარმოქმნის გარკვეული რაოდენობის ფხვნილს და ამ ლითონის მტვრის ნაწილაკები ასევე აბინძურებს მილის შიგნით არსებულ სუფთა გაზს.მილის ეს მახასიათებელი აუცილებელია ტრანსპორტირებული გაზის სისუფთავის უზრუნველსაყოფად, რაც მოითხოვს არა მხოლოდ მილის შიდა ზედაპირის ძალიან მაღალ სიგლუვეს, არამედ აცვიათ მაღალ წინააღმდეგობას.
როდესაც გამოიყენება ძლიერი კოროზიული ეფექტის მქონე აირი, მილსადენებისთვის უნდა იქნას გამოყენებული კოროზიისადმი მდგრადი უჟანგავი ფოლადის მილები.წინააღმდეგ შემთხვევაში, მილი წარმოქმნის კოროზიულ ლაქებს შიდა ზედაპირზე კოროზიის გამო, ხოლო სერიოზულ შემთხვევებში იქნება ლითონის ამოღება ან თუნდაც პერფორაცია, რაც დააბინძურებს გასავრცელ სუფთა გაზს.
მაღალი სისუფთავის და მაღალი სისუფთავის გაზის გადამცემი და გამანაწილებელი მილსადენების დიდი ნაკადის შეერთება.
პრინციპში, ყველა მათგანი შედუღებულია და გამოყენებული მილები არ უნდა შეიცვალოს ორგანიზაციაში შედუღების გამოყენებისას.ნახშირბადის ძალიან მაღალი შემცველობის მასალები შედუღებისას ექვემდებარება შედუღებული ნაწილების ჰაერგამტარობას, რაც იწვევს გაზების ორმხრივ შეღწევას მილის შიგნით და გარეთ და ანადგურებს გადაცემული აირის სისუფთავეს, სიმშრალეს და სისუფთავეს, რაც იწვევს მთელი ჩვენი ძალისხმევა.
მოკლედ, მაღალი სისუფთავის გაზისა და სპეციალური გაზის გადამცემი მილსადენისთვის აუცილებელია მაღალი სისუფთავის უჟანგავი ფოლადის მილის სპეციალური დამუშავების გამოყენება, მაღალი სისუფთავის მილსადენის სისტემის (მათ შორის მილები, ფიტინგები, სარქველები, VMB, VMP) დამზადება. მაღალი სისუფთავის გაზის განაწილება სასიცოცხლო მისიას იკავებს.
გადამცემი და გამანაწილებელი მილსადენების სუფთა ტექნოლოგიის ზოგადი კონცეფცია
უაღრესად სუფთა და სუფთა გაზის სხეულის გადაცემა მილსადენებით ნიშნავს, რომ არსებობს გარკვეული მოთხოვნები ან კონტროლი ტრანსპორტირებადი გაზის სამი ასპექტისთვის.
გაზის სისუფთავე: მინარევების ატმოსფეროს შემცველობა gგაზის სისუფთავეში: მინარევების ატმოსფეროს შემცველობა აირში, ჩვეულებრივ გამოხატული გაზის სისუფთავის პროცენტულად, როგორიცაა 99,9999%, ასევე გამოხატული როგორც მინარევების ატმოსფეროს შემცველობის მოცულობის თანაფარდობა ppm, ppb, ppt.
სიმშრალე: აირში ტენიანობის კვალი, ან ტენიანობას უწოდებენ, ჩვეულებრივ გამოიხატება ნამის წერტილით, როგორიცაა ატმოსფერული წნევის ნამის წერტილი -70.C.
სისუფთავე: გაზში შემავალი დამაბინძურებლების ნაწილაკების რაოდენობა, ნაწილაკების ზომა μm, რამდენი ნაწილაკი/M3 უნდა გამოვხატოთ, შეკუმშული ჰაერისთვის, როგორც წესი, ასევე გამოხატულია რამდენი მგ/მ3 გარდაუვალი მყარი ნარჩენების მიხედვით, რომელიც ფარავს ზეთის შემცველობას. .
დამაბინძურებლების ზომის კლასიფიკაცია: დამაბინძურებლების ნაწილაკები, ძირითადად ეხება მილსადენის წმენდას, ცვეთას, კოროზიას წარმოქმნილი ლითონის ნაწილაკებით, ატმოსფერული ჭვარტლის ნაწილაკებით, აგრეთვე მიკროორგანიზმებით, ფაგებით და ტენიანობის შემცველი გაზის კონდენსაციის წვეთებით და ა.შ., მისი ნაწილაკების ზომის მიხედვით. იყოფა
ა) დიდი ნაწილაკები – ნაწილაკების ზომა 5μm-ზე მეტი
ბ) ნაწილაკი – მასალის დიამეტრი 0,1μm-5μm შორის
გ) ულტრა-მიკრო ნაწილაკები – ნაწილაკების ზომა 0,1μm-ზე ნაკლები.
ამ ტექნოლოგიის გამოყენების გასაუმჯობესებლად, ნაწილაკების ზომისა და μm ერთეულების აღქმის გასაგებად, მოწოდებულია ნაწილაკების სტატუსის ნაკრები მითითებისთვის.
ქვემოთ მოცემულია კონკრეტული ნაწილაკების შედარება
| სახელი / ნაწილაკების ზომა (მკმ) | სახელი / ნაწილაკების ზომა (მკმ) | დასახელება/ნაწილაკების ზომა (მკ) |
| ვირუსი 0.003-0.0 | აეროზოლი 0.03-1 | აეროზოლირებული მიკროწვეთი 1-12 |
| ბირთვული საწვავი 0,01-0,1 | საღებავი 0.1-6 | მფრინავი ნაცარი 1-200 |
| ნახშირბადის შავი 0,01-0,3 | რძის ფხვნილი 0,1-10 | პესტიციდი 5-10 |
| ფისოვანი 0,01-1 | ბაქტერიები 0,3-30 | ცემენტის მტვერი 5-100 |
| სიგარეტის კვამლი 0,01-1 | ქვიშის მტვერი 0,5-5 | მტვერი 10-15 |
| სილიკონი 0,02-0,1 | პესტიციდი 0,5-10 | ადამიანის თმა 50-120 |
| კრისტალიზებული მარილი 0,03-0,5 | კონცენტრირებული გოგირდის მტვერი 1-11 | ზღვის ქვიშა 100-1200 |
გამოქვეყნების დრო: ივნ-14-2022