მაღალი სიწმინდის გაზსადენის ტექნოლოგია მაღალი სიწმინდის გაზის მიწოდების სისტემის მნიშვნელოვანი ნაწილია, რომელიც წარმოადგენს საკვანძო ტექნოლოგიას საჭირო მაღალი სიწმინდის გაზის გამოყენების წერტილამდე გადასასვლელად და მაინც შეინარჩუნებს კვალიფიციურ ხარისხს; მაღალი სიწმინდის გაზის მილსადენის ტექნოლოგია მოიცავს სისტემის სწორ დიზაინს, ფიტინგებისა და აქსესუარების შერჩევას, მშენებლობასა და მონტაჟს და ტესტირებას. ბოლო წლების განმავლობაში, უფრო მკაცრი მოთხოვნები მაღალი სიწმინდის გაზების სიწმინდისა და მინარევების შემცველობასთან დაკავშირებით, მიკროელექტრონული პროდუქტების წარმოებაში, რომელიც წარმოდგენილია ფართომასშტაბიანი ინტეგრირებული სქემებით, გახადა მაღალი სიწმინდის გაზების მილსადენის ტექნოლოგია, რომელიც უფრო მეტად შეშფოთებულია და ხაზს უსვამს. ქვემოთ მოცემულია მაღალი სიწმინდის გაზის მილსადენის მოკლე მიმოხილვა მასალების შერჩევისგანof მშენებლობა, ასევე მიღება და ყოველდღიური მენეჯმენტი.
საერთო გაზების ტიპები
საერთო გაზების კლასიფიკაცია ელექტრონიკის ინდუსტრიაში：
საერთო აირები（ნაყარი გაზი）: წყალბადი (თ2), აზოტი (N2), ჟანგბადი (o2), არგონი (ა2) და ა.შ.
სპეციალობის აირებისიჰი4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2Cl2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,თანაარსებობა,C2F6, N2O,F2,სთ,HBR SF6…… ა.შ.
ზოგადად, სპეციალური გაზების ტიპები შეიძლება კლასიფიცირდეს, როგორც კოროზიულიგაზი, ტოქსიკურიგაზი, აალებადიგაზი, აალებადიგაზი, ინერტულიგაზიდა ა.შ. ჩვეულებრივ გამოყენებული ნახევარგამტარული გაზები ზოგადად კლასიფიცირდება შემდეგნაირად.
(i) კოროზიული / ტოქსიკურიგაზი: HCl, BF3, WF6, HBR, Sih2Cl2, NH3, PH3, CL2, BCL3… ა.შ.
(ii) აალებადიგაზი: ს2, ჩ4, სიჰ4, PH3, Ash3, Sih2Cl2, ბ2H6, CH2F2,CH3F, Co… და ა.შ.
(iii) საწვავიგაზი: ო2, CL2, N2O, nf3… ა.შ.
(iv) ინერტულიგაზი: N2, შდრ4, გ2F6, გ4F8,SF6, თანა2, NE, KR, ის… და ა.შ.
მრავალი ნახევარგამტარული გაზები საზიანოა ადამიანის სხეულისთვის. კერძოდ, ამ გაზების ზოგიერთი ნაწილი, მაგალითად სიჰი4 სპონტანური წვა, სანამ გაჟონვა ძალადობრივად რეაგირებს ჰაერში ჟანგბადთან და დაიწყებს დაწვა; და ნაცარი3უაღრესად ტოქსიკური, ნებისმიერი უმნიშვნელო გაჟონვა შეიძლება გამოიწვიოს ადამიანის სიცოცხლის რისკი, ეს არის ამ აშკარა საფრთხეების გამო, ამიტომ სისტემის დიზაინის უსაფრთხოების მოთხოვნები განსაკუთრებით მაღალია.
გაზების განაცხადის ფარგლები
როგორც თანამედროვე ინდუსტრიის მნიშვნელოვანი ძირითადი ნედლეული, გაზის პროდუქტები ფართოდ გამოიყენება, ხოლო დიდი რაოდენობით საერთო გაზები ან სპეციალური აირები გამოიყენება მეტალურგიაში, ფოლადში, ნავთობში, ქიმიურ ინდუსტრიაში, მანქანებში, ელექტრონიკაში, მინასთან, კერამიკაში, სამშენებლო მასალებში, მშენებლობაში, საკვების გადამუშავებაზე, მედიცინასა და სამედიცინო სექტორებში. გაზის გამოყენება მნიშვნელოვან გავლენას ახდენს ამ დარგების მაღალ ტექნოლოგიაზე, და ეს არის მისი შეუცვლელი ნედლეულის გაზი ან პროცესის გაზები. მხოლოდ სხვადასხვა ახალი სამრეწველო სექტორისა და თანამედროვე მეცნიერებისა და ტექნოლოგიების საჭიროებებითა და პოპულარიზაციით, გაზის ინდუსტრიის პროდუქტები შეიძლება განვითარდეს ნახტომებითა და საზღვრებით, მრავალფეროვნების, ხარისხისა და რაოდენობის თვალსაზრისით.
გაზის გამოყენება მიკროელექტრონიკასა და ნახევარგამტარული ინდუსტრიაში
გაზის გამოყენებამ ყოველთვის მნიშვნელოვანი როლი ითამაშა ნახევარგამტარული პროცესში, განსაკუთრებით ნახევარგამტარული პროცესი ფართოდ იქნა გამოყენებული სხვადასხვა ინდუსტრიებში, ტრადიციული ULSI- დან, TFT-LCD– დან მიმდინარე მიკრო-ელექტრო-მექანიკური (MEMS) ინდუსტრიამდე, ყველა მათგანი იყენებს ეგრეთ წოდებულ ნახევარგამტარული პროცესის, როგორც პროდუქციის წარმოების პროცესს. გაზის სიწმინდეს გადამწყვეტ გავლენას ახდენს კომპონენტების და პროდუქტის მოსავლიანობის შესრულებაზე, ხოლო გაზის მიწოდების უსაფრთხოება დაკავშირებულია პერსონალის ჯანმრთელობასთან და მცენარეთა ოპერაციების უსაფრთხოებასთან.
მაღალი სიწმინდის მილსადენის მნიშვნელობა მაღალი სიწმინდის გაზის ტრანსპორტში
უჟანგავი ფოლადის დნობის და მასალის დამზადების პროცესში, დაახლოებით 200 გ გაზზე შეიძლება შეიწოვება თითო ტონაზე. უჟანგავი ფოლადის დამუშავების შემდეგ, არა მხოლოდ მისი ზედაპირის წებოვანი სხვადასხვა დამაბინძურებლებით, არამედ მის ლითონის ცხრილში ასევე შეიწოვება გარკვეული რაოდენობით გაზით. როდესაც მილსადენის საშუალებით ხდება ჰაერის ნაკადი, ლითონი შთანთქავს გაზის ამ ნაწილს ხელახლა შედის ჰაერის ნაკადში, დაბინძურდება სუფთა გაზი. როდესაც მილში ჰაერის ნაკადი შეწყვეტილი ნაკადია, მილაკი აწარმოებს გაზს წნევის ქვეშ, და როდესაც ჰაერის ნაკადი შეწყვეტს, მილით ადსორბირებული გაზი ქმნის წნევის წვეთს გადასაჭრელად, ხოლო გადაჭრილი გაზი ასევე შედის სუფთა გაზში, როგორც მინარევები. ამავდროულად, ადსორბცია და რეზოლუცია მეორდება, ისე, რომ მილის შიდა ზედაპირზე ლითონი ასევე წარმოქმნის გარკვეულ ფხვნილს, და ამ ლითონის მტვრის ნაწილაკები ასევე აბინძურებენ სუფთა გაზს მილის შიგნით. მილის ეს მახასიათებელი აუცილებელია ტრანსპორტირებული გაზის სიწმინდის უზრუნველსაყოფად, რაც მოითხოვს არა მხოლოდ მილის შიდა ზედაპირის ძალიან მაღალ სიგლუვეს, არამედ მაღალი აცვიათ წინააღმდეგობას.
როდესაც ძლიერი კოროზიული შესრულებით გამოიყენება გაზი, კოროზიის მდგრადი უჟანგავი ფოლადის მილები უნდა იქნას გამოყენებული მილსადენისთვის. წინააღმდეგ შემთხვევაში, მილის კოროზიის გამო შიდა ზედაპირზე კოროზიის ლაქები გამოიმუშავებს და სერიოზულ შემთხვევებში იქნება ლითონის ზოლების ან თუნდაც პერფორაციის დიდი ფართობი, რომელიც დაბინძურდება სუფთა გაზის განაწილებისთვის.
მაღალი სიწმინდისა და მაღალი სისუფთავის გაზის გადაცემისა და დიდი ნაკადის განაწილების მილსადენების კავშირი.
პრინციპში, ყველა მათგანი შედუღებულია, ხოლო გამოყენებული მილები საჭიროა არ შეცვალონ ორგანიზაციაში, როდესაც შედუღება გამოიყენება. ძალიან მაღალი ნახშირბადის შემცველობით მასალები ექვემდებარება შედუღებული ნაწილების ჰაერის გამტარიანობას შედუღების დროს, რაც მილის შიგნით და მის გარეთ გაზების ურთიერთგამომრიცხავ შეღწევას ქმნის და ანგრევს გადაცემული გაზის სიწმინდეს, სიმშრალეს და სისუფთავეს, რაც იწვევს ჩვენი ძალისხმევის დაკარგვას.
მოკლედ რომ ვთქვათ, მაღალი სიწმინდის გაზისა და გაზის გადაცემის სპეციალური მილსადენისთვის აუცილებელია გამოიყენოთ მაღალი სიწმინდის უჟანგავი ფოლადის მილის სპეციალური მკურნალობა, მაღალი სიწმინდის მილსადენის სისტემის დასამზადებლად (მათ შორის მილები, ფიტინგები, სარქველები, VMB, VMP) მაღალი ხარისხის გაზის განაწილებაში.
სუფთა ტექნოლოგიის ზოგადი კონცეფცია გადაცემისა და განაწილების მილსადენებისთვის
მილსადენთან ერთად სუფთა და სუფთა გაზის სხეულის გადაცემა ნიშნავს, რომ არსებობს გარკვეული მოთხოვნები ან კონტროლი გაზის ტრანსპორტირების სამი ასპექტისთვის.
გაზის სიწმინდე: მინარევების ატმოსფეროს შინაარსი GGAS სიწმინდეში: გაზში მინარევების ატმოსფეროს შინაარსი, რომელიც ჩვეულებრივ გამოიხატება გაზის სიწმინდის პროცენტულად, მაგალითად, 99.9999%, ასევე გამოიხატება, როგორც მინარევების ატმოსფეროს შინაარსის მოცულობის თანაფარდობა PPM, PPB, PPT.
სიმშრალე: გაზში ტენიანობის ტენიანობის რაოდენობა, ან ის რაოდენობა, რომელსაც ეწოდება სველი. გ.
სისუფთავე: გაზში შემავალი დამაბინძურებელი ნაწილაკების რაოდენობა, ნაწილაკების ზომა μm, რამდენი ნაწილაკი/მ 3 გამოხატულია, შეკუმშული ჰაერისთვის, ჩვეულებრივ, ასევე გამოხატულია იმ თვალსაზრისით, თუ რამდენი მგ/მ 3 -ს გარდაუვალია მყარი ნარჩენები, რომელიც მოიცავს ზეთის შემცველობას.
დამაბინძურებლების ზომის კლასიფიკაცია: დამაბინძურებელი ნაწილაკები, ძირითადად, ეხება მილსადენის გაწმენდას, აცვიათ, ლითონის ნაწილაკების მიერ წარმოქმნილ კოროზიას, ატმოსფერული ჭვარტლის ნაწილაკებს, აგრეთვე მიკროორგანიზმებს, ფაგებს და ტენიანობის გაზის კონდენსაციის წვეთებს და ა.შ., მისი ნაწილაკების ზომების მიხედვით იყოფა.
ა) დიდი ნაწილაკები - ნაწილაკების ზომა 5μm ზემოთ
ბ) ნაწილაკი-მატერიალური დიამეტრი 0,1μm-5μm- ს შორის
გ) ულტრა-მიკრო ნაწილაკები-ნაწილაკების ზომა 0,1μm- ზე ნაკლები.
ამ ტექნოლოგიის გამოყენების გასაუმჯობესებლად, ნაწილაკების ზომისა და μM ერთეულების გააზრების მისაღწევად, მოცემულია სპეციფიკური ნაწილაკების სტატუსის ერთობლიობა
ქვემოთ მოცემულია კონკრეტული ნაწილაკების შედარება
| სახელი /ნაწილაკების ზომა (μm) | სახელი /ნაწილაკების ზომა (μm) | სახელი/ ნაწილაკების ზომა (μm) |
| ვირუსი 0.003-0.0 | აეროზოლი 0.03-1 | აეროზოლირებული მიკროდროპლეტი 1-12 |
| ბირთვული საწვავი 0.01-0.1 | ხატავს 0.1-6 | ფრენა ნაცარი 1-200 |
| ნახშირბადის შავი 0.01-0.3 | რძის ფხვნილი 0.1-10 | პესტიციდი 5-10 |
| ფისოვანი 0.01-1 | ბაქტერიები 0.3-30 | ცემენტის მტვერი 5-100 |
| სიგარეტის მოწევა 0.01-1 | ქვიშის მტვერი 0.5-5 | Pollen 10-15 |
| სილიკონი 0.02-0.1 | პესტიციდი 0.5-10 | ადამიანის თმა 50-120 |
| კრისტალიზებული მარილი 0.03-0.5 | კონცენტრირებული გოგირდის მტვერი 1-11 | ზღვის ქვიშა 100-1200 |
პოსტის დრო: ივნ -14-2022