ნახევარგამტარული ბაზარი იზრდება, სიწმინდისა და სიზუსტის სტანდარტები უფრო მკაცრი ხდება. ნახევარგამტარული წარმოების ხარისხის ერთ -ერთი განმსაზღვრელი ფაქტორი არის ამ პროცესში გამოყენებული გაზები. ეს გაზები წარმოების პროცესში ბევრ როლს ასრულებენ, მათ შორის:
ზუსტი პროცესის კონტროლი
დაბინძურების პრევენცია
მეტალურგიული ქონების გაძლიერება
ამ როლების ეფექტურად შესასრულებლად, გაზის მიწოდებისა და განაწილების სისტემა უნდა იყოს ეფექტური. ნახევარგამტარული წარმოებაში გამოყენებული გაზის დამუშავების სისტემების დიზაინს უნდა დაუჭიროს ძლიერი კომპონენტები და მორგებული შეკრებები, რათა უზრუნველყოს ნახევარგამტარების საიმედო და მაღალი ხარისხის წარმოება.
გაზის ნახევარგამტარული წარმოებაში გამოყენებული გაზები
ნახევარგამტარული წარმოების პროცესი მოითხოვს სხვადასხვა გაზების გამოყენებას პროცესის სხვადასხვა ეტაპზე.
მიუხედავად იმისა, რომ საერთო გაზები, როგორიცაა აზოტი, წყალბადი, არგონი და ჰელიუმი, მათი სუფთა ფორმით შეიძლება გამოყენებულ იქნას, გარკვეულ პროცესებს შეიძლება დასჭირდეს სპეციალიზებული ნარევები. Silanes ან Siloxanes, Hexafluorides, Halides და ნახშირწყალბადები არის რამდენიმე სპეციალობის გაზები, რომლებიც გამოიყენება ნახევარგამტარული წარმოებაში. ამ გაზებიდან ბევრი შეიძლება იყოს საშიში ან ძალზე რეაქტიული, რაც ქმნის გამოწვევებს გაზის სისტემებისთვის კომპონენტების შერჩევაში და დიზაინში.
აქ მოცემულია რამდენიმე მაგალითი:
\ წყალბადის და ჰელიუმის ადვილად გაჟონვა მილსადენისა და ფიტინგების სისტემებიდან მათი მცირე ატომური ზომისა და წონის გამო.
\ Silanes ძალზე აალებადი და შეუძლია სპონტანურად წვა (აუტოინიტი) ჰაერში.
\ აზოტის დიფლუორიდი, რომელიც გამოიყენება დეპონირების, ეკვრისა და პალატის დასუფთავების ეტაპზე, ხდება სათბურის ძლიერი გაზი, როდესაც გარემოში გაჟღენთილია.
\ წყალბადის ფტორიდი (etching გაზი) ძალიან კოროზიულია ლითონის მილსადენთან.
\ Trimethylgallium და ამიაკი შეიძლება რთული იყოს - მათი ტემპერატურის მცირე რყევები და წნევის მოთხოვნები შეიძლება გავლენა იქონიოს დეპონირების პროცესზე.
ამ გაზების უარყოფითი შედეგების შესამცირებლად პროცესის პირობები კონტროლის პირობები სისტემის დიზაინის დროს უმთავრესი პრიორიტეტი უნდა იყოს. თანაბრად მნიშვნელოვანია გამოიყენოთ უმაღლესი ხარისხის კომპონენტები, როგორიცაა AFK დიაფრაგმის სარქველები მშენებლობის პროცესში.
სისტემის დიზაინის გამოწვევების მოგვარება
ნახევარგამტარული კლასის გაზები უმეტესად მაღალი სიწმინდის შემთხვევაშია და უზრუნველყოფს ინერტული პირობებს ან აძლიერებს რეაქციებს წარმოების პროცესის სხვადასხვა ეტაპზე, მაგალითად, etch და დეპონირების გაზები. ამგვარი აირების გაჟონვამ ან დაბინძურებამ შეიძლება უარყოფითი გავლენა მოახდინოს. აქედან გამომდინარე, გადამწყვეტი მნიშვნელობა აქვს სისტემის კომპონენტებს, რომლებიც გამოყენებულია ჰერმეტულად დალუქული და კოროზიის გამძლეობით, ასევე აქვს გლუვი ზედაპირის დასრულება (ელექტროლიტური გაპრიალება), რათა უზრუნველყოს დაბინძურების შესაძლებლობა და სისუფთავის უკიდურესად მაღალი დონე შეიძლება შენარჩუნდეს.
გარდა ამისა, ამ გაზების ზოგიერთი ნაწილი შეიძლება გაცხელდეს ან გაცივდეს სასურველი პროცესის პირობების მისაღწევად. კარგად იზოლირებული კომპონენტები უზრუნველყოფენ ტემპერატურის კონტროლს, რაც გადამწყვეტია საბოლოო პროდუქტის ეფექტური შესრულებისთვის.
წყაროს შესასვლელიდან გამოყენების წერტილამდე, AFK– ს კომპონენტების ფართო სპექტრი მხარს უჭერს ულტრა მაღალი სიწმინდეს, ტემპერატურას, წნევასა და ნაკადის კონტროლს, რომელიც საჭიროა ნახევარგამტარული დასუფთავებისა და ვაკუუმის პალატებში.
შექმნილი სისტემები, რომელთაც აქვთ ხარისხიანი კომპონენტები ნახევარგამტარული Fabs
ხარისხის კომპონენტების როლი და დიზაინის ოპტიმიზაცია გადამწყვეტი მნიშვნელობა აქვს ნახევარგამტარების ზუსტი კონტროლისა და უსაფრთხო წარმოებისთვის. გამოყენებული კომპონენტები უნდა იყოს ძლიერი და გაჟონვის გარეშე, რათა შეესაბამებოდეს წარმოების სხვადასხვა ეტაპზე საჭირო სხვადასხვა პროცესის პირობებს. AFK– ის მაღალი ხარისხის სარქველები, ფიტინგები, რეგულატორები, მილსადენი და დალუქვა ფრჩხილები ხასიათდება შემდეგი მახასიათებლებით:
ულტრა მაღალი სიწმინდე
გაჟონვის გარეშე ბეჭდები
ტემპერატურის კონტროლირებადი იზოლაცია
წნევის კონტროლი
კოროზიის წინააღმდეგობა
ელექტროლიტური გასაპრიალებელი მკურნალობა
პოსტის დრო: ოქტომბერი -09-2023