ულტრა მაღალი სიწმინდის გაზები აუცილებელია ნახევარგამტარული მიწოდების ქსელში. სინამდვილეში, ტიპიური FAB- სთვის, მაღალი სიწმინდის გაზები არის ყველაზე დიდი მატერიალური ხარჯები თავად სილიკონის შემდეგ. გლობალური ჩიპების დეფიციტის გამო, ინდუსტრია უფრო სწრაფად ფართოვდება, ვიდრე ოდესმე - და იზრდება მაღალი სიწმინდის გაზების მოთხოვნა.
ნახევარგამტარული წარმოების ყველაზე ხშირად გამოყენებული ნაყარი აირები არის აზოტი, ჰელიუმი, წყალბადი და არგონი.
Nitrogen
აზოტი ჩვენი ატმოსფეროს 78% -ს შეადგენს და ძალიან უხვი. ეს ასევე ხდება ქიმიურად ინერტული და არა-გამტარი. შედეგად, აზოტმა იპოვა თავისი გზა უამრავ ინდუსტრიაში, როგორც ეფექტური ინერტული გაზი.
ნახევარგამტარული ინდუსტრია აზოტის მთავარი მომხმარებელია. ნახევარგამტარული წარმოების თანამედროვე ქარხანა სავარაუდოდ გამოიყენებს 50,000 კუბურ მეტრის აზოტს საათში. ნახევარგამტარული წარმოებაში, აზოტი მოქმედებს, როგორც ზოგადი დანიშნულების ინერტული და გაწმენდის გაზები, იცავს მგრძნობიარე სილიკონის ძაფებს ჰაერში რეაქტიული ჟანგბადისა და ტენიანობისგან.
ჰელიუმი
ჰელიუმი არის ინერტული გაზი. ეს ნიშნავს, რომ, აზოტის მსგავსად, ჰელიუმი ქიმიურად ინერტულია - მაგრამ მას ასევე აქვს მაღალი თერმული კონდუქტომეტრის დამატებითი უპირატესობა. ეს განსაკუთრებით სასარგებლოა ნახევარგამტარული წარმოებაში, რაც საშუალებას აძლევს მას ეფექტურად განახორციელოს სითბო მაღალი ენერგიის პროცესებისგან და დაეხმაროს მათ თერმული დაზიანებისა და არასასურველი ქიმიური რეაქციებისგან.
წყალბადი
წყალბადი ფართოდ გამოიყენება ელექტრონიკის წარმოების პროცესში, ხოლო ნახევარგამტარული წარმოება არ არის გამონაკლისი. კერძოდ, წყალბადი გამოიყენება:
Annealing: სილიკონის ძაფები, როგორც წესი, თბება მაღალ ტემპერატურაზე და ნელა გაცივდება ბროლის სტრუქტურის გამოსწორების (ანეინის) შესაკეთებლად. წყალბადი გამოიყენება სითბოს თანაბრად გადასატანად ვაფლზე და ბროლის სტრუქტურის აღდგენაში.
ეპიტაქსი: ულტრა მაღალი სიწმინდის წყალბადი გამოიყენება როგორც შემცირების აგენტი ნახევარგამტარული მასალების ეპიტაქსიურ დეპონირებაში, როგორიცაა სილიკონი და გერმანიუმი.
დეპონირება: წყალბადის გადაღება შესაძლებელია სილიკონის ფილმებში, რათა მათი ატომური სტრუქტურა უფრო არეულობდეს, რაც ხელს შეუწყობს რეზისტენტობის გაზრდას.
პლაზმური გაწმენდა: წყალბადის პლაზმა განსაკუთრებით ეფექტურია UV ლითოგრაფიაში გამოყენებული სინათლის წყაროებიდან კალის დაბინძურების ამოღებაში.
არგონი
არგონი არის კიდევ ერთი კეთილშობილური გაზი, ასე რომ, იგი გამოხატავს იგივე დაბალ რეაქტიულობას, როგორც აზოტი და ჰელიუმი. ამასთან, არგონის დაბალი იონიზაციის ენერგია მას სასარგებლო ხდის ნახევარგამტარული პროგრამებში. იონიზაციის შედარებით მარტივია, არგონი ჩვეულებრივ გამოიყენება, როგორც პირველადი პლაზმური გაზი Etch და დეპონირების რეაქციების ნახევარგამტარული წარმოებაში. ამის გარდა, არგონი ასევე გამოიყენება ექსიმერის ლაზერებში UV ლითოგრაფიისთვის.
რატომ არის სიწმინდე
როგორც წესი, ნახევარგამტარული ტექნოლოგიის მიღწევები მიღწეულია ზომის მასშტაბის მასშტაბით, ხოლო ნახევარგამტარული ტექნოლოგიის ახალი თაობა ხასიათდება უფრო მცირე ზომებით. ეს იძლევა მრავალჯერადი სარგებელი: მეტი ტრანზისტორი მოცემულ მოცულობაში, გაუმჯობესებული დენებისა, ენერგიის დაბალი მოხმარების და უფრო სწრაფი გადართვისთვის.
ამასთან, როგორც კრიტიკული ზომა მცირდება, ნახევარგამტარული მოწყობილობები სულ უფრო დახვეწილი ხდება. სამყაროში, სადაც ინდივიდუალური ატომების პოზიციაა მნიშვნელოვანი, ხარვეზების ტოლერანტობის ბარიერები ძალიან მჭიდროა. შედეგად, თანამედროვე ნახევარგამტარული პროცესები მოითხოვს პროცესის გაზებს, რომელთაც აქვთ მაქსიმალური სიწმინდე.
Wofly არის მაღალტექნოლოგიური საწარმო, რომელიც სპეციალიზირებულია გაზის განაცხადის სისტემის ინჟინერიაში: ელექტრონული სპეციალური გაზის სისტემა, ლაბორატორიული გაზის წრიული სისტემა, გაზის სამრეწველო ცენტრალიზებული სისტემა, ნაყარი გაზის (თხევადი) სისტემა, მაღალი სიწმინდის გაზები და სპეციალური პროცესის გაზის მეორადი მილსადენის სისტემა, ქიმიური მიწოდების სისტემა, სუფთა წყლის სისტემა, რათა უზრუნველყოს ინჟინერიისა და ტექნიკური მომსახურებისა და დამხმარე საშუალებების სრული დაგეგმვა, ტექნიკური დაგეგმვა, შეარჩიოს ტექნიკური დაგეგმვა, შეარჩიოს ტექნიკური დაგეგმვა, ტექნიკური დაგეგმვა, დიზაინი, შეარჩიოს ტექნიკური დაგეგმვა, შეარჩიოს მოწყობილობები, შეარჩიოს ტექნიკური საკონსულტაციო, ზოგადი დაგეგმვისა, მთლიანი დაგეგმვისა, მთლიანი დაგეგმვისა, მთლიანი დაგეგმვისა, მთლიანი დაგეგმვისა, სისტემის დიზაინით, შეარჩიეთ ტექნიკური საკონსულტაციო საშუალებები. პროექტის საიტის, სისტემის საერთო ტესტირება, ტექნიკური მომსახურება და სხვა დამხმარე პროდუქტები ინტეგრირებული ფორმით.
პოსტის დრო: ივლისი -11-2023