გაზის ინდუსტრია ნახევარგამტარული ინდუსტრიაში

ნახევარგამტარული ინდუსტრიის გაზების გამოყენება თარიღდება 1950 -იანი წლების დასაწყისში 1960 -იანი წლებამდე. ნახევარგამტარული წარმოების პროცესის დროს, გაზები ძირითადად გამოიყენება ნახევარგამტარული მასალების გაწმენდისა და დასაცავად, მათი სიწმინდისა და ხარისხის უზრუნველსაყოფად. ყველაზე ხშირად გამოყენებულ გაზებს შორის არის აზოტი და წყალბადი.

ნახევარგამტარული ტექნოლოგიის შემუშავებისას და წარმოების პროცესები კვლავაც გაუმჯობესდა, გაზების მოთხოვნა გაიზარდა. 1970 წელს, ნახევარგამტარული წარმოების ტექნოლოგიის შემდგომი განვითარება, გაზების გამოყენება საკვანძო პროცესებში, როგორიცაა თხელი ფილმების etching და დეპონირება, თანდათანობით გაიზარდა, ხოლო ფტორული აირები (მაგ. SF6) და ჟანგბადი გახდა ჩვეულებრივ გამოყენებული ეშმაკური და დეპონირების გაზები. 1980 წელს დაფიქსირდა გაზების მოთხოვნის შემდგომი ზრდა ინტეგრირებული სქემების განვითარებით და მათზე მოთხოვნის ზრდით. წყალბადი ფართოდ იქნა გამოყენებული წარმოების პროცესში, მათ შორის წყალბადის ანონირება და წყალბადის ორთქლის დეპონირება. 1990 წლიდან დღემდე, მაღალი სიწმინდის გაზების და სპეციფიკური გაზების მოთხოვნა გაიზარდა, რადგან ნახევარგამტარული მოწყობილობის ზომები კვლავ შემცირდა და დაინერგა ახალი პროცესები. მაგალითად, უკიდურესი ულტრაიისფერი ლითოგრაფიის (EUV) გამოყენება მოითხოვს უკიდურესად მაღალი სიწმინდის გაზების გამოყენებას, როგორიცაა აზოტი და წყალბადი.

ნახევარგამტარული გაზი კვლავ იზრდება, რაც უფრო და უფრო მეტი პროდუქტით გამოწვეულია დაკავშირებული პროდუქტების განვითარებით, ხოლო გაზი ასევე მიეკუთვნება საშიშროების წყაროს, ამიტომ გაზის დეკომპრესიისთვის გამოყენებული პროდუქტები, გაზის გამოვლენის პროდუქტები და გაზის გაჟონვის პროდუქტები, როგორიცაა წნევის რეგულატორები, გაზის წნევის გრაფები, გაზის გაჟონვის დეტექტორი და მათი როლები.

წნევის რეგულატორები: წნევის რეგულატორები არის მოწყობილობები, რომლებიც გამოიყენება გაზის წნევის გასაკონტროლებლად. ისინი, როგორც წესი, შედგება მარეგულირებლის სარქველისა და წნევის სენსორისგან. წნევის რეგულატორები იღებენ მაღალი წნევის გაზის შეყვანას და სტაბილიზაციას უწევს გამომავალი გაზის წნევას სარქვლის რეგულირებით, კონკრეტული გამოყენების მოთხოვნების დასაკმაყოფილებლად. წნევის რეგულატორები ფართოდ გამოიყენება ისეთ სფეროებში, როგორიცაა ინდუსტრია, წარმოება და ლაბორატორიები, ასევე ნახევარგამტარული ინდუსტრია, სხვათა შორის, გაზის მიწოდების სტაბილურობისა და უსაფრთხოების უზრუნველსაყოფად.

გაზის სარქველები: გაზის სარქველები გამოიყენება გაზების ნაკადის გასაკონტროლებლად და გაზის გადასასვლელების დასაკმაყოფილებლად. მათ ჩვეულებრივ აქვთ ჩართვის/გამორთვის ფუნქცია, რომელიც იხსნება ან ხურავს გაზის ნაკადს. არსებობს სხვადასხვა ტიპის გაზის სარქველები, მათ შორის სახელმძღვანელო სარქველები, ელექტრო სარქველები და პნევმატური სარქველები. ისინი ფართოდ გამოიყენება გაზების სისტემებში, გაზების ნაკადის, წნევის და ნაკადის სიჩქარის გასაკონტროლებლად.

გაზის წნევის გაზომვები: გაზის წნევის გაზომვები გამოიყენება გაზის წნევის დონის გასაზომად. ისინი, როგორც წესი, დამონტაჟებულია გაზის სისტემებში კრიტიკულ ადგილებში, რათა მონიტორინგი გაუწიონ წნევის ცვლილებებს და უზრუნველყონ, რომ ისინი უსაფრთხო ფარგლებში არიან. გაზის წნევის გაზომვები ფართოდ გამოიყენება ინდუსტრიაში, წარმოებასა და ლაბორატორიებში, ასევე მონაწილეობს ნახევარგამტარული ინდუსტრია.

გაზის გაჟონვის დეტექტორები: გაზის გაჟონვის დეტექტორები გამოიყენება გაზის სისტემებში გაჟონვის გამოსავლენად. ისინი აღმოაჩენენგაზის გაჟონვისა და განგაშის ჟღერადობის არსებობა ისე, რომ დროული მოქმედება შეიძლება განხორციელდეს გაჟონვის ავარიების თავიდან ასაცილებლად. გაზის გაჟონვის დეტექტორები ფართოდ გამოიყენება სამრეწველო, ქიმიური, ნავთობისა და გაზის პროგრამებში, ასევე მონაწილეობს ნახევარგამტარული ინდუსტრია.