კუდის გაზის დამუშავების მოწყობილობებს შეუძლიათ გაუმკლავდნენ გაზს, რომელიც გამოიყენება etching პროცესებში და ქიმიური ორთქლის დეპონირების პროცესებში ნახევარგამტარული, თხევადი ბროლის და მზის ენერგიის ინდუსტრიებში, მათ შორის SIH4, SIH2CL2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O და ა.შ.
გამონაბოლქვი გაზის მკურნალობის მეთოდი
გამონაბოლქვი გაზის მკურნალობის მახასიათებლების მიხედვით, მკურნალობა შეიძლება დაიყოს მკურნალობის ოთხ ტიპად:
1. წყლის სარეცხი ტიპი (კოროზიული გაზების მკურნალობა)
2. დაჟანგვის ტიპი (გამკლავებული და ტოქსიკური გაზები)
3. ადსორბცია (ადსორბციული მასალის ტიპის მიხედვით, შესაბამისი გამონაბოლქვი გაზის მოსაგვარებლად).
4. პლაზმური წვის ტიპი (ყველა სახის გამონაბოლქვი აირის მკურნალობა შესაძლებელია).
მკურნალობის თითოეულ ტიპს აქვს საკუთარი დადებითი და უარყოფითი მხარეები, ასევე მისი გამოყენების ფარგლები. როდესაც მკურნალობის მეთოდი წყლის დაბანაა, აღჭურვილობა იაფი და მარტივია, და მხოლოდ წყალგაუმტარი გაზების გაუმკლავება შეუძლია; ელექტრო წყლის სარეცხი ტიპის აპლიკაციის დიაპაზონი უფრო მაღალია, ვიდრე წყლის სარეცხი ტიპის ტიპი, მაგრამ ოპერაციის ღირებულება მაღალია; მშრალ ტიპს აქვს კარგი მკურნალობის ეფექტურობა და არ გამოიყენება გაზის ნაკადზე, რომელიც მარტივად არის ჩაკეტილი ან მიედინება.
ქიმიკატები და მათი ქვეპროდუქტები, რომლებიც ჩვეულებრივ გამოიყენება ნახევარგამტარული ინდუსტრიაში, შეიძლება კატეგორიული იყოს მათი ქიმიური თვისებებისა და მათი სხვადასხვა დიაპაზონის მიხედვით:
1. აალებადი გაზები, როგორიცაა SIH4H2 და ა.შ.
2. ტოქსიკური გაზები, როგორიცაა ASH3, PH3 და ა.შ.
3. კოროზიული გაზები, როგორიცაა HF, HCl და ა.შ.
4. სათბურის გაზები, როგორიცაა CF4, NF3 და ა.შ.
მას შემდეგ, რაც ზემოხსენებული ოთხი აირი საზიანოა გარემოსთვის ან ადამიანის სხეულისთვის, უნდა შეუშალოს მისი პირდაპირი ემისია ატმოსფეროში, ამიტომ ზოგადი ნახევარგამტარული ქარხანა დამონტაჟებულია დიდი ცენტრალიზებული გამონაბოლქვი გაზის დამუშავების სისტემით, მაგრამ ეს სისტემა მხოლოდ წყლის გაფუჭებაა გამონაბოლქვით, ასე რომ, მისი გამოყენება შემოიფარგლება მხოლოდ დისტანციური წყლის ხსნადი გაზებით, და ვერ გაუმკლავდება მუდმივად გამორჩეულ და ქვესადგურის გაყოფას. აქედან გამომდინარე, აუცილებელია გამონაბოლქვი გაზის სამკურნალო შესაბამისი მოწყობილობების შერჩევა და შესაბამისობა თითოეული პროცესისგან მიღებული გაზის მახასიათებლების მიხედვით, გამონაბოლქვი გაზის პრობლემის მცირე გზით გადასაჭრელად. იმის გამო, რომ სამუშაო ფართი ძირითადად დაშორებულია ცენტრალური გამონაბოლქვი გაზის დამუშავების სისტემას, ხშირად გაზის მახასიათებლების გამო იწვევს მილსადენში კრისტალიზაციას ან მტვრის დაგროვებას, რის შედეგადაც მილსადენის გადაკეტვა იწვევს გაზის გაჟონვას, და სერიოზულ შემთხვევებში, თუნდაც იწვევს აფეთქებას, ვერ უზრუნველყოფს საიტის პერსონალის სამუშაო უსაფრთხოებას. ამრიგად, სამუშაო ზონაში საჭიროა კონფიგურაცია მცირე გამონაბოლქვი გაზის გამწმენდი მოწყობილობებისთვის, რომელიც შესაფერისია პროცესის გაზის მახასიათებლებისთვის, რათა შეამციროს სამუშაო ფართობში გამაგრილებელი გაზები, პერსონალის უსაფრთხოების უზრუნველსაყოფად.
პოსტის დრო: აგვისტო -10-2023